ミニバック小型油回転真空ポンプ
PXシリーズ

ヤマト科学

化学、半導体向けに最適、耐腐食性を高めたケミカルタイプ

特長

● 化学工業、半導体業界や一般科学分野などで使用する特殊ガスを真空ポンプで吸引する利用が高まっています。PXシリーズは、ガス接触部品に耐食・耐磨耗材料を使用したケミカルタイプの真空ポンプです。

● ポンプケーシングと主要構造部品には特殊表面処理を施しています。Oリングをはじめとする化学部品にはフッ素系のものを使用し、その他の部材にも耐食性材料を使用しています。

● 排気口にはKF-25クイックカップリングフランジ（ISOタイプ）を採用し、有害ガス等を含む排気に必要な接続配管への脱着が容易です。吸気口にもKF-25クイックカップリングフランジが取り付け可能です（オプション）。

※1　到達圧力はピラニ真空計による測定値です。（マクラウド真空計による測定の場合、到達圧力が1.3Pa以下のポンプでは、1桁低い値になります。）

情報提供元: ヤマト科学株式会社

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