高速分光エリプソメータ
UNECS-1500A / 2000A / 3000A

アルバック

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。

特長

● 製品紹介

● 高速測定
独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速測定を実現しました。

● 可視分光対応
波長範囲は標準タイプ（530nm～750nm）および可視分光タイプ（380nm～760nm）から選択できます。

● コンパクトなセンサユニット
投受光センサは回転機構を持たない光学素子のみで構成されており非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスも必要もありません。

情報提供元: 株式会社アルバック

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