熱陰極電離真空計
SH200シリーズ
アルバック
異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型真空計『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』の新シリーズです。
B-A型電離真空計である本製品は、超高真空の測定が可能です。
特長
● 製品紹介
● 異なる測定範囲の測定子が接続可能
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能
● コンパクト
従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
● ユーザビリティ向上
PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
● ラインアップの充実
アナログ出力仕様(SH200-A)、シリアル通信仕様(SH200-R)に加え、EtherCAT仕様(SH200-E)を追加予定
主な仕様
型式 | SH200-A | SH200-R | SH200-E(発売予定) |
仕様 | 標準仕様 | シリアル通信仕様 | EtherCAT仕様 |
測定圧力範囲:単体モード ※ | 5.0×10⁻⁸~1.0×10⁺¹Pa | ||
適応マルチイオンゲージセンサ | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | ||
接続可能センサ | マルチイオンゲージセンサ:1本 |
※ オプションを接続することで大気圧からの測定も可能
メーカー製品URL:
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-gauge/hot-cathode-gauge/sh200-are.html
情報提供元: 株式会社アルバック
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。