プロセスガスモニタ Qulee
HGM2-202 / 302
アルバック
革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計Qulee シリーズ（Ethernet 通信対応）のハイエンドモデル機”Qulee HGM2″です。
2.5 × 10⁻⁶A/Pa（ファラデーカップ）という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。
特長
● 測定質量数範囲
1～200 amu（HGM2-202）
1～300 amu（HGM2-302）
● 各種研究開発用途に最適
ハイエンド機能としての最高感度を実現 2.5×10⁻⁶A/Pa
● 通信インターフェース
Ethernet通信に対応
● 表示部一体型の設計
PCレスでも測定可能
● 簡単操作
One Click 機能（だれにでも簡単。複雑な操作は不要）
主な仕様
| 型式 | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1～200 amu | 1～300 amu | ||
| 分解能 | M/ ΔM=1M（10% P.H.） | |||
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子倍増管 | ファラデーカップ | 二次電子倍増管 |
| 感度 | 2.5×10⁻⁶A/Pa@1.0mA | 4 A/Pa | 2.0×10⁻⁶A/Pa@1.0mA | 4 A/Pa |
| 最小検知分圧 | 10⁻⁹Pa台 | 10⁻¹³Pa台 | 10⁻⁹Pa台 | 10⁻¹³Pa台 |
| 最大使用圧力 | 1×10⁻²Pa | |||
メーカー製品URL:
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/process-gas-monitor/high-performance-process/
情報提供元: 株式会社アルバック
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。