プロセスガスモニタ Qulee
CGM2-051 /101 / 052 / 102
アルバック
高圧下（1Pa以下）での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計 / プロセスガスモニタ（RGA）です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
特長
● 製品紹介
● スパッタリングプロセスに最適
● Air Leak監視
● 残留水分管理
● プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要
1Pa以下測定可能、省スペース化可能
主な仕様
| 型式 | CGM2-051 | CGM2-101 | CGM2-052 | CGM2-102 |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1～50 amu | 1～100 amu | 1～50 amu | 1～100 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子増倍管 / ファラデーカップ | ||
| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
| 最小検知分圧 | 10⁻⁷Pa | 10⁻¹⁰Pa | ||
| 最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa（FC）1×10⁻²Pa（SEM） | ||
メーカー製品URL:
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/process-gas-monitor/sputtering-process/
情報提供元: 株式会社アルバック
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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