プロセスガスモニタ Qulee
BGM2-101 / 102 / 201 / 202
アルバック
革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計（RGA）です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。
特長
● 製品紹介
● コストパフォーマンス抜群の汎用仕様
● 測定質量数範囲
1～100 amu（BGM2-101 / 102）
1～200 amu（BGM2-201 / 202）
● 表示部一体型の設計
パソコンレスでも測定可能
● 簡単操作
One Click 機能（だれにでも簡単。複雑な操作は不要）
主な仕様
| 型式 | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子増倍管 / ファラデーカップ | ||
| 感度 | 10⁻⁷A/Pa | 4A/Pa | ||
| 最小検知分圧 | 10⁻⁸Pa | 10⁻¹²Pa | ||
| 最大使用圧力 | 1×10⁻²Pa | |||
メーカー製品URL:
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/process-gas-monitor/basic-process/
情報提供元: 株式会社アルバック
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。