パターンなしウェーハ表面検査装置
WMシリーズ
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WMシリーズは、ベアウェーハ表面のパーティクルなどを検査する装置で、工程、装置管理の業界標準ツールとして、幅広く使用しています。また、様々なウェーハサイズにも対応しており、高い汎用性が特長の装置です。
・ハイコストパフォーマンス
・様々なサイズのウェーハに対応可能
・省スペース
・高感度と広いダイナミックレンジ
特長
● アプリケーション
装置管理 / 工程管理 / 材料部材管理 / 装置出荷検査 / 研究開発用途 / ウェーハ中間・出荷検査など
● 導入市場
デバイスメーカー / OSAT / 材料メーカー / 装置メーカー / R&D / ウェーハメーカーなど
● パーティクル検出例
主な仕様
| WM-7SR+ | WM-10R+ | |
| 最高検出感度（Bare-Si） | 79nm（61nm optional） | 48nm |
| ウェーハサイズ | 2～8inch | 4～12inch |
| ダイナミックレンジ | 79nm～5.0μm | 48nm～5.0μm |
| 装置サイズ（mm） | W860 × D905 × H1655 | Ｗ1530 × D1242 × H1955 |
| 安全認証 | SEMI､FDA､CE､UKCA準拠 | |
メーカー製品URL:
https://www.takano-kensa.com/kensa/products/frontend-inspection/wm/
情報提供元: タカノ株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。
