ウェーハ外観検査装置
Viシリーズ
タカノ タカノ 掲載製品 一覧
ウェーハの配線パターン、クラック、異物混入など、製品外観を高速・高精度で検査。あらゆる検査に柔軟に対応し、優れたコストパフォーマンスを実現する装置。
・多数の導入実績に裏打ちされた高い信頼性
・タカノ独自のアルゴリズムで欠陥を検出
・ウェーハとテープフレームに対応
・ダイシング後の内部クラック検査が可能
特長
● アプリケーション
パターン付きシリコンウェーハ / 膜付ウェーハ / 化合物ウェーハ / 透明ウェーハ / ガラス基板 / テープフレーム / 薄化ウェーハ
● 導入市場
ファウンドリー / 半導体デバイスメーカー / RFフィルター / R&Dなど
● 欠陥検出例
主な仕様
| Vi-4207 | Vi-4307 | Vi-5301 | |
| ウェーハサイズ | 2～8inch | 4～12inch | |
| ローダー | Open Cassette | Open Cassette、FOUP、FOSB | |
| 検査対象 | CMOSイメージセンサー、パワーデバイス、RFフィルター、MEMS、ガラス、TAIKOウェーハ | ||
| 装置サイズ（mm） | W1880 × D1140 × H2060 | Ｗ2280 × D1140 × H2060 | W2600 × D1440 × H1790 |
| 重量 | 1650kg | 1700kg | 2800kg |
メーカー製品URL:
https://www.takano-kensa.com/kensa/products/backend-inspection/vi/
情報提供元: タカノ株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。
