特長

● Ultimate Imaging with Low Energy Beam
独自設計の2つのIn-Beam検出器により、異なる角度から放出される信号を同時に取得できます。アキシャル検出器は狭い角度の反射電子を検出し、マルチ検出器は中角度の反射電子を検出します。低加速電圧でしか見えない微細な表面特徴を観察することができます。E-T検出器は凹凸状態が分かりやすいSE像が得られ、LE-BSE検出器は凹凸の状態も反映した組成像が得られます。

● Enhanced Real–time Observation
Wide Field Optics技術により、最低倍率2倍で50 mm以上の視野をリアルタイムでSEMの広域観察できます。従来の走査電子顕微鏡は最低倍率が10倍から20倍で、視野は5 mm～10 mmに限られます。そのため、試料全体のどの場所を観察しているか把握が難しく、効率が悪くなります。SS-4000はリアルタイムで広範囲を観察でき、試料画像との違和感なくスムーズに視野を切り替え可能。試料の傾斜観察にも対応し、操作性と実用性が向上します。

● Sensitive Low-Vacuum Imaging
低真空では電子の散乱が増え信号量が減少します。7～500 Paの範囲で圧力変更できるMultiVac™テクノロジーと、水蒸気環境で使用できるガス二次電子検出器（GSD）の組合せにより、水蒸気のイオン増幅効果を利用して低真空での詳細な表面観察が可能です。特に伝導性コーティングなしで生体試料、植物試料、食品など、ビームダメージを受けやすい試料の観察に最適です。
※ SS-4000 GMU モデルのみ

主な仕様

	LMH	GMU
電子銃	ショットキー電界放出（FE）
分解能	【高真空モード】 0.8nm（30keV、STEM（オプション）使用） 0.9nm（15keV）～ 1.5nm（0.5keV）	【高真空モード】 0.8nm（30keV、STEM（オプション）使用） 0.9nm（15keV）～ 1.5nm（0.5keV） 【低真空モード】 1.8nm（30keV GSD）、3.0nm（3keV GSD）
撮影倍率	2倍～200万倍 （最低・最高倍率は、加速電圧、ワーキングディスタンス（WD）により異なる）
加速電圧	0.05keV～30keV（入射電圧 < 0.05keV BDMモード）
低真空圧設定範囲	ー	7～500Pa（Multivac N₂、H₂O)