特長

● SUPERSCAN SS-3000 検出器システム
SUPERSCAN SS-3000は試料チャンバー内に形態観察用の二次電子検出器（SE）と、組成観察用の反射電子検出器（R-BSE）の2つの検出器を備えています。また短いワーキングディスタンス（WD）での高解像度観察に最適なIn-Beam SE 検出器とIn-Beam LEBSE（低エネルギーBSE）検出器を電子カラム内に搭載しています。特にIn-Beam LE BSE 検出器は、試料表面の凹凸の影響を受けにくく、影となったり奥まった所の特徴を明確にする高コントラスト画像を提供します。これら計4種類の検出器を標準搭載しており、様々な観察像を組み合わせた解析が可能です。

● Beam deceleration mode（BDM）for lower accelerating voltages
性能をさらに高めるためにビーム減速モード（BDM）を搭載しています。BDMモードは試料ステージに負の電荷を掛けて電子ビームのエネルギーを下げることで、試料のチャージアップを低減し、低加速電圧でより鮮明な高解像度の画像が得られます。また、試料から発生した二次電子を吸い上げる効果もあり、In-Beam LE BSE検出器の二次電子の検出効率が向上するため、より高感度な観察が可能になります。

● Enhanced Real–time Observation
Wide Field Optics™テクノロジーにより、広域倍率2倍で50 mm以上の視野をリアルタイムにSEM観察できます。従来の走査電子顕微鏡は広域倍率が10倍から20倍で、視野は5 mm～10 mmに限られます。そのため、試料全体のどの場所を観察しているのか把握が難しくなります。SS-3000はリアルタイムで試料ステージ全体を観察でき、SEM画像で違和感なく高解像度までスムーズに視野倍率の切り替えが可能です。試料の傾斜観察にも対応し、操作性と実用性が向上します。中間レンズと走査コイルにより、非常に広い視野観察を実現。目的の領域を素早く見つけられます。

● Sensitive Low-Vacuum Imaging
MultiVacテクノロジーは、1～700 Paの任意の低真空を実現し、ガス二次電子検出器（GSD）は、ガス分子のイオン増幅効果を利用して二次電子信号を効率よく増幅・検出します※。導電性のない試料でも、チャージアップの影響が最も小さくなる圧力に設定して、SE像を高感度に観察することができます。特に、水蒸気雰囲気では、窒素雰囲気よりもさらに高感度に観察できるため、樹脂のようにビームダメージを受けやすい試料の観察に最適です。
※ SS-3000 GMU / LMUモデルのみ

主な仕様

	LMS	LMU	GMU
電子銃	ショットキー電界放出（FE）
分解能	【高真空モード】 1.0nm（30keV、In-Beam SE）～3.5nm（1keV、In-Beam SE） 【低真空モード】（固定：30Pa±10Pa） 2.0nm（30keV、BSE）	【高真空モード】 1.0nm（30keV、In-Beam SE）～3.5nm（1keV、In-Beam SE） 【低真空モード】（可変：1～700Pa） 2.0nm（30keV、BSE）、1.8nm（30keV、GSD）、3.0nm（3keV、GSD）
撮影倍率	2倍～100万倍
加速電圧	0.2keV～30keV（入射電圧 > 0.05keV BDMモード）
低真空圧設定範囲	30Pa（SigleVac N₂）	1～700Pa（Multivac N₂、H₂O)
試料チャンバー	内径230mm		Ｗ340mm×D315mm