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走査型プローブ顕微鏡
SPM-9700HT Plus
島津製作所 島津製作所 掲載製品 一覧
未知の領域を見える化する
走査型プローブ顕微鏡（SPM / AFM）は、試料表面を微小なプローブ（探針）で走査し、試料の三次元形状や局所的物性を高倍率で観察する顕微鏡の総称です。
SPM-9700HT Plusは、ハイスループット観察をさらに進化させました。
特長
● ナノ3DマッピングFast（オプション）
従来機（SPM-9700）より、物性マッピングの時間を大幅に短縮。マッピング時間が短くなったことにより、安定した物性評価が実施できます。
● 観察条件の最適化 NanoAssist
設定するのは観察範囲のみ。そのほかの観察条件設定を自動で行います。オペレーターに依存しない観察を実現します。
● 観察時間を短縮する ハイスループットスキャナ
新しく開発したHTスキャナにより、従来機（SPM-9700）より5倍以上の早さで表面形状の観察が可能になりました。スキャナは簡単に交換できるため、従来のスキャナを使用できます。
● マウス操作で多彩な3D表現
マウス操作で回転、ズーム、Z軸倍率変更が自由自在にでき、画像の見たい角度や倍率を感覚的に調節できます。
高さ情報の他に物性情報を重ね合わせて表示するテクスチャ機能や、3D断面形状解析機能といった高度な解析により、画像の確認作業の効率が飛躍的に向上します。
● あらゆる要求に応える機能と拡張性
豊富な測定モードで、試料の形状像だけでなく、電流や電位、硬さや粘弾性といった試料表面の物性情報を反映した画像を取得できるようになります。
主な仕様
● SPMユニット
| 分解能 | XY | 0.2 nm |
| Z | 0.01 nm | |
| 最大走査範囲 （X・Y・Z） |
10µm×10µm×1µm（標準） | |
| 30µm×30µm×5µm（オプション） | ||
| 125µm×125µm×7µm（オプション） | ||
| 55µm×55µm×13µm（オプション） | ||
| 2.5µm×2.5µm×0.3µm（オプション） | ||
| 試料最大形状 | Φ24mm×8mm | |
| 除振機構 | SPMユニットに内蔵 | |
情報提供元: 株式会社島津製作所
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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