液中パーティクルセンサ
KS-41B
リオン
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1µmから測定可能
特長
● 最小可測粒径 0.1µm（0.07µm対応可能。純水などの透明な液体の場合）、定格流量 5mL/min
● 粒径区分 0.1µm～0.5µmの範囲で最大10段階（コントローラ KE-40B1の機能による）、出荷時は5段階（0.1µm、0.15µm、0.2µm、0.3µm、0.5µm 以上）
● 多点監視システムに接続可能
主な仕様
| 型式 | KS-41B |
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
| 光源 | 半導体レーザ励起固体レーザ（波長532nm、定格出力500mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、PFA |
| 粒径区分 | 0.1µm～0.5µmの範囲で10段階 （オプションで0.07µmから対応、純水などの透明な液体の場合） 出荷時：0.1µm以上、0.15µm以上、0.2µm以上、0.3µm以上、0.5µm以上の5段階 |
| 定格流量 | 5mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 9,600個/mL（計数損失10%以内） |
| 電源 | DC12V（KE-40B1より供給） |
| 大きさ | 164(H) × 464(W) × 305(D) mm （突起物除く） |
| 重さ | 約12.5kg |
メーカー製品URL:
https://particle.rion.co.jp/products/ks-41b.html
情報提供元: リオン株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。