液中パーティクルセンサ
KS-41A

リオン

0.15µmの粒子を、フォトレジスト溶液やSOGなどから測定可能

特長

● 最小可測粒径 0.15µm、定格流量 10mL/min
● 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力
● 粒径範囲内で任意に粒径を設定可能（コントローラ KE-40B1の機能による）

型式	KS-41A
光学系方式	側方散乱方式
光源	半導体レーザ（波長830nm、定格出力200mW）
接液部材質	合成石英、PFA
粒径区分	0.15µm～0.5µmの範囲で10段階出荷時：0.15µm以上、0.2µm以上、0.3µm以上、0.5µm以上の4段階
定格流量	10mL/min
最大粒子個数濃度	1,200個/L（計数損失5%以内）
電源	DC12V（KE-40B1より供給）
大きさ	160(H) × 300(W) × 251(D) mm （突起物除く）
重さ	約7.5kg

情報提供元: リオン株式会社

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