液中パーティクルセンサ
KS-18F

リオン

液中の0.05µmを高感度に測定。
フッ化水素酸対応

特長

● 最小可測粒径 0.05µm、定格流量 10mL/min
● 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力
● セルにサファイアを採用
● 粒径範囲内で任意に粒径を設定可能（コントローラ KE-40B1の機能による）
● 粒径分解能を高める技術を採用

型式	KS-18F
光学系方式	側方散乱方式
光源	半導体レーザ励起固体レーザ（波長532nm、定格出力500mW）
接液部材質	サファイア、PFA
粒径区分	0.05µm～0.2µmの範囲で2から10段階出荷時：0.05µm以上、0.1µm以上、0.15µm以上、0.2µm以上の4段階
定格流量	10mL/min
最大粒子個数濃度	30,000個/mL（計数損失10%以内）
電源	DC12V（KE-40B1より供給）
大きさ	147(H) × 272(W) × 442(D) mm （突起部除く）
重さ	約12kg

情報提供元: リオン株式会社

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