液中パーティクルセンサ
KS-16 / KS-16F
リオン
0.1µm、薬液管理、フッ化水素酸に対応する、
インライン・多点モニタリングシステム用センサ
特長
● 粒径区分（5段階） 0.1µm、0.15µm、0.2µm、0.3µm、0.5µm以上
● 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
● モニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
● 多点モニタリングシステムに対応
主な仕様
| 型式 | KS-16 | KS-16F |
| 光学系方式 | 側方散乱方式 | |
| 光源 | 半導体レーザ（波長830nm、定格出力200mW） | |
| 接液部材質 | 合成石英、PFA | サファイア、PFA |
| フッ化水素酸対応 | × | 〇 |
| 粒径区分 | 0.1µm以上、0.15µm以上、0.2µm以上、0.3µm以上、0.5µm以上の5段階 | |
| 定格流量 | 10mL/min | |
| 最大粒子個数濃度 | 1,200個/mL（計数損失5%以内） | |
| 電源 | AC100V～240V、約40VA（外部電源KZ-50（付属）を含む） | |
| 大きさ | 110(H) × 240(W) × 150(D) mm （突起部除く） | |
| 重さ | 約3.5kg | |
メーカー製品URL:
https://particle.rion.co.jp/products/ks-16.html
情報提供元: リオン株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。