液中パーティクルカウンタ
KL-28B / KL-28BF

リオン

ウェットプロセスのパーティクル管理に最適

特長

● 手のひらサイズの小型・軽量・高性能
● 場所を選ばず、ウエットラインに組み込み可能
● リアルタイム多点モニタリングシステムに対応（オプション）
● 純水からレジスト、フッ化水素酸（KL-28BFのみ）まで、さまざまな液体に対応
● 高検出効率

情報提供元: リオン株式会社

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