超薄膜スクラッチ試験機
CSR5100
レスカ
薄膜の密着強度を測定します。
JIS R 3255に準拠した測定が行えます。
DLC・ITO・ZnO・SiO・SiN等の評価が可能です。
特長
● 膜厚µm以下の超薄膜の密着強度評価が可能 ※ 膜厚10nmの測定実績有
● サンプルを加熱しての加熱環境下での評価が可能
● レンズ等の曲面測定が可能
● 顕測定部位を事前に顕微鏡観察により位置設定が可能
主な仕様
CSR5100 | ||
荷重検出機構 | 荷重印加範囲 | 1~1500mN |
荷重分解能 | 0.3mN | |
Z軸駆動機構 ※ 荷重印加方向 |
駆動範囲 | 20mm(手動にて+30mmの粗動範囲有) |
駆動分解能数 | 0.5µm | |
駆動速度(測定時) | 0.1~10µm/s | |
Y軸駆動機構 ※ スクラッチ方向 |
駆動範囲 | 20mm |
駆動分解能数 | 0.5µm | |
駆動速度(測定時) | 0~20µm/s | |
試料台XY軸駆動機構 | 駆動範囲 | ±6.5mm |
メーカー製品URL:
https://www.rhesca.co.jp/lineup/csr/index.html
情報提供元: 株式会社レスカ
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。