顕微分光膜厚計
OPTM series
大塚電子
顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
特長
● 顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数）
● 1ポイント1秒以内の高速測定
● 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外）
● 製品紹介
● 測定項目
絶対反射率測定、膜厚解析、光学定数解析（n：屈折率、k：消衰係数）
主な仕様
| タイプ | 自動XYステージタイプ ※1 | ||
| OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
| 波長範囲 | 230～800 nm | 360～1100 nm | 900～1600 nm |
| 膜厚範囲 ※2 | 1 nm～35µm | 7 nm～49µm | 16 nm～92µm |
| サンプルサイズ | 最大200×200×17 mm | ||
| スポット径 | Φ5、Φ10、Φ20、Φ40 | ||
| 寸法（W×D×H） | 556×566×618 mm | ||
| 重量 | 66 kg | ||
| 最大消費電力 | AC100V±10V 500VA | ||
※1 自動XYステージタイプのほかに、固定フレームタイプ、組込みヘッドタイプがあります。
※2 膜厚範囲はSiO₂換算となります。
メーカー製品URL:
https://www.otsukael.jp/product/detail/productid/111
情報提供元: 大塚電子株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。