光波動場三次元顕微鏡
MINUK

大塚電子

MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な装置です。

特長

● nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
● 1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得
● フォーカス不要で高速測定が可能

● 製品紹介

分解能 x,y	691nm（ワンショット）、488nm（合成）
視野 x,y	700×700µm
分解能 z	10nm（位相差）
視野 z	±700µm
サンプルサイズ	100×80×t20mm（汎用サンプルホルダ取付時）
サンプルステージ	微動XYステージ（自動）X：±10mm Y：±10mm 粗動ステージ　X：129mm Y：85mm
レーザー	波長 638nm 出力 0.39mW 以下 Class1（測定試料への照射強度）
サイズ（幅×奥行き×高さ）mm	本体：505(W)×630(D)×439(H) ※ PC、付属品は含まず
質量	41kg

情報提供元: 大塚電子株式会社

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