膜厚モニター
FE-300F
大塚電子
高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
特長
● 小型・低価格・簡単操作で膜厚測定
● 分光器、光源の選択により測定膜厚範囲の選択可能
● 条件設定や測定操作が簡単。どなたでも手軽に測定可能
● 測定項目
絶対反射率測定、膜厚解析(10層)、光学定数解析(n:屈折率、k:消衰計数)
● 測定対象
機能性フィルム、プラスチック、半導体、表面処理、光学材料、FPDなど
主な仕様
測定波長範囲 | 300~800nm |
測定膜厚範囲(SiO₂換算) | 3nm~35µm |
スポット径 | Φ1.2mm |
サンプルサイズ | Φ200×5(H) mm |
測定時間 | 0.1~10s以内 |
電源 | AC100V±10% 300VA |
寸法、重量 | 280(W)×570(D)×350(H) mm、24kg |
その他 | リファレンスプレート、レシピ作成サービス |
メーカー製品URL:
https://www.otsukael.jp/product/detail/productid/24
情報提供元: 大塚電子株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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