特長

● 非接触計測
計測対象物に物理的な影響を与えることなく高い再現性を実現します。

● 高精度・高応答の計測性能
従来製品と比べて、より高精度な計測が可能となり（±0.05 %FS〜±0.12 %FS、センサーとの組み合わせによる）、演算周期も20 msから10 msへ短縮。多点連続計測や高速ラインに対応し、検査時間の短縮と高品質な計測を同時に実現します。

● 温度計測・補正機能、ネットワーク連携（オプション）
PT-100温度センサーによる環境温度の計測が可能となりました。厚さ計測と同時に温度データを取得することで、温度変化に伴う計測誤差を補正し、より高精度な計測を実現します。
さらにEthernet通信に対応し、ネットワーク経由での一括管理・データ収集・遠隔監視をサポートします。

● 直感的に使えるカラー液晶タッチパネルディスプレイ
視認性に優れたカラー液晶ディスプレイとわかりやすいメニュー構成により、必要な情報に素早くアクセス可能。変位・厚さ・温度など、最大4項目の計測データを1画面に同時表示。画面切り替えなしで複数の情報を一括確認できるため、計測状況をすばやく把握できます。
ハードキー操作にも対応し、手袋を着けたままでも、さまざまな現場環境で確実かつ快適に操作可能です。

主な仕様

計測対象物	導体・半導体	シリコンウェハー、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金属板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。
	絶縁体	ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどプラスチック類。（全体が均一な性質の単一材料で構成される薄い物が計測対象となります。）
測定項目	Thickness：測定対象物の厚さ（導体 / 半導体 / 絶縁体） ※ CL-0740絶縁体計測機能槇裁時
	GAP A：センサーAと測定対象物とのギャップ（導体 / 半導体のみ）
	GAP B：センサーBと測定対象物とのギャップ（導体 / 半導体のみ）
	A-B（センサーAとBの差）：段差、平行度（A-B）（導体 / 半導体のみ）
	Temperature：温度　※ CL-0741温度計測・補正機能搭載時
適合センサーと表示分解能、精度		センサー	分解能	精度
	標準	VE-2011 / VE-5011 / VE-1021 / VE-5010 / VE-1020	0.1µm	±0.15% FS
		VE-1520	0.5µm
		VE-3020 / VE-8020 / VE-8021	1.0µm
	CL-0720 高分解能演算機能搭載時	VE-2011	0.02µm	±0.12% FS
		VE-5010 / VE-5011	0.05µm	±0.10% FS
		VE-1020 / VE-1021	0.1µm	±0.05% FS
		VE-1520	0.2µm
		VE-3020 / VE-8020 / VE-8021	0.5µm