静電容量式非接触厚さ計
CL-5610シリーズ
小野測器
- ギャップディテクタ VEシリーズセンサと接続して、導体や半導体、絶縁体の厚みを計測する非接触厚さ計です。
- VE シリーズセンサを2個まで接続することが出来ます。また、2 ch のギャップ計測器としても使用できます。
特長
● 豊富な計測項目
厚みとギャップを計測できます。また、それぞれに対し、偏差値・最大値・最小値・最大幅値（最大−最小）の演算値も表示出来ます。
● 導体・半導体の他、絶縁体の厚みも測定可能
CL-0300 絶縁体測定機能（オプション）により、薄いプラスチックフィルムやガラス板などの絶縁体の厚みを計測することができます。
● 導通が完全に取れないサンプルなども安定した厚み計測が可能
サンプルをフッ素系膜でコーティングしたテーブルで保持する場合などは、サンプルと本体（コモン）間の導通を取ることが困難でした。これまでは、広い面積でサンプルと接触させることで安定性を確保する必要がありましたが、CL-0210 高インピーダンス接地モード機能（オプション）により、その面積を小さくすることができます。また、同面積に於いてはより高い安定性を確保することができます。
● 高分解能演算機能オプション（CL-0200）で最小表示分解能 0.02 µｍ を実現※
※ VE-2011 / 5010 / 5011 使用時。VE-5010 / 5011 は、CL-0201 測定範囲変更オプションで、測定範囲を 20 ～ 200 µm にした場合に適用
主な仕様
| 計測対象 | 導体、半導体、絶縁体 ※1 ※1 CL-0300 絶縁体測定機能オプションが必要です。 |
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| センサ入力 | 2チャンネル（A、B）静電容量式センサ | |||
| 測定項目 | 測定対象物の厚さ（導体、半導体、絶縁体＜オプションCL-0300＞） センサ A と測定対象（導体、半導体）とのギャップ（A） センサ B と測定対象（導体、半導体）とのギャップ（B） A と B との差（A – B） |
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| 表示モード | ABS：厚さまたはギャップを絶対値表示 Dev：基準値に対する変化量表示 任意期間内（START中）の最大値（MAX）、最小値（MIN）、最大値−最小値（RANGE） |
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| 適合センサと表示分解能 | 新型 VE シリーズ静電容量式ギャップディテクタとの組み合わせにより、次の表示分解能となります。 | |||
| センサタイプ | 測定範囲（µm） | 分解能（µm） | ||
| 標準 | CL-0200高分解能演算機能 オプション装着時 |
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| VE-2011 | 20～200 | 0.1 | 0.02 | |
| VE-5010 | 50～500 20～200 ※2 |
0.1 | 0.05 / 0.02 ※2 | |
| VE-5011 | ||||
| VE-1020 | 100～1000 | 0.1 | 0.1 | |
| VE-1021 | ||||
| VE-1520 | 150～1500 | 0.5 | 0.2 | |
| VE-3020 | 300～3000 | 1 | 0.5 | |
| VE-8020 | 800 ～8000 | 2 | 1 | |
| VE-8021 | ||||
| ※2 VE-5010 / 5011 は、CL-0201 測定範囲変更オプションにより測定範囲を 20～200 μm に指定することができます。 その際の高分解能オプション装着時の表示分解能は 0.02 μｍ となります。 ※ 絶縁体計測の場合、測定範囲の約1/3の厚みを計測の目安としてください。 例）VE-1020を使用する場合、絶縁体の厚みは約350μm以下となります。 |
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| 精度 | ±0.15 %/F.S.（標準） ±0.12 %/F.S.（CL-0200高分解能演算機能オプション装着時＜VE-8020 / 8021を除く＞） |
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| 精度保証温度範囲 | 23℃ ± 2℃ | |||
メーカー製品URL:
https://www.onosokki.co.jp/HP-WK/products/keisoku/thickness/cl5600.html
情報提供元: 株式会社小野測器
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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