特長

● 高い信頼性
突然の停電時でも、マクロ検査機構の真空吸着はONを保つように設計されており、装置上のウェハをピンセットなしで収納できます。

● マクロ検査機構
表面・裏面周辺 / 裏面中央のマクロ検査が可能です。自転速度や傾斜角度の操作は、ボリュームつまみでの設定と、ジョイスティックによるマニュアル操作が可能です。

● 高スループットを実現
スピーディーなエレベータの上下動と、非接触センタリングによる素早く正確なアライメント、ムダのないウェハのロード / アンロード動作で、合理的なウェハ搬送と交換動作を可能にしました。

● エルゴノミック設計
操作部を本体前面のオペレータ寄りに集中配置し、各装置類もオペレータの手と視線の動きが最小になる配置を実現。正面パネルには、スロット内に格納された任意のウェハをボタンひとつでセレクトできる、ウェハスロットボタンを新採用。さらに、キャリアを左前方に35°の角度で載置することで、キャリア搭載の作業制を確保し、キャリア内ウェハの目視も可能としました。