特長

● 高分解能と高速サンプリングレート
直流 / 交流電圧100 nV、直流 / 交流電流100 pA、抵抗100 µΩの最高分解能で、高精度な測定ニーズ

● 高速応答・高安定度

• • 時定数
    検波部の最小時定数は、LI5660 / LI5655で1µs（LI5650 / LI5645は5µs）です。ロックインアンプ本体の性能向上により、高周波かつ高速応答を実現しました。
  • 同期フィルタ
    信号の整数周期の同期（移動平均）フィルタを搭載しています。この機能により検波に伴う測定信号のリプルを低減できます。同期フィルタは時定数フィルタとは独立した動作のため、時定数を大きくすることなくSN比を改善でき、結果として高速な応答を得られます。
  • 低い周波数でも高速にロック
    デジタル方式の採用により、低周波（数Hz以下）では、約2周期で参照信号にロックします。
  • 優れたダイナミックリザーブ
    位相検波とそれ以降の処理のデジタル化により、アナログ方式に比べて高ゲイン時の出力ドリフトが小さく、最高100dBのダイナミックリザーブが得られます。（信号フルスケールの100,000倍の雑音下で測定が可能です。）

● 広帯域：高周波入力端子により最高11MHz（LI5660）
電圧測定は、シングルエンド（A）および差動（A-B）入力に加え、LI5660 では10Vrms入力（C）、高周波入力（HF）の端子を装備しています。HF入力端子では、最高11MHzの測定が可能です。

● 2周波数同時測定：2位相（Rcosθ、Rsinθ）、2系統（主検波器、副検波器）

• • 2つの周波数成分を同時測定
  • レシオ演算
  • 位相検波器の縦続接続

主な仕様

		LI5660	LI5655	LI5650	LI5645
周波数範囲		0.5Hz～11MHz	0.5Hz～3MHz	1mHz～250kHz	1mHz～250kHz
信号入力 感度	電圧（A、A-B）	10nV～1V F.S （0.5Hz～3MHz）	10nV～1V F.S （0.5Hz～3MHz）	10nV～1V F.S （1mHz～250kHz）	10nV～1V F.S （1mHz～250kHz）
	10V（Ｃ）	1mV～10V F.S （0.5Hz～3MHz）	ー	ー	ー
	高周波（HF)	1mV～10V F.S （10kHz～11MHz）	ー	ー	ー
	電流（I)	10fA～1µA F.S	10fA～1µA F.S	10fA～1µA F.S	ー
PSD（位相検波）		2位相・2周波数	2位相・2周波数	2位相・2周波数	2位相・1周波数
時定数		1µs～50ks	1µs～50ks	5µs～50ks	5µs～50ks
アナログ出力最高更新レート		約1.5Mサンプル/秒	約1.5Mサンプル/秒	約780kサンプル/秒	約780kサンプル/秒
2周波数同時測定		〇	〇	〇	ー