熱蒸着機付き 卓上パルスレーザーデポジションシステム
PLD-T
メイワフォーシス メイワフォーシス 掲載製品 一覧
2インチマグネトロンカソード、80WスイッチングDC電源を備えた高真空スパッタコーター
特長
● 回転速度を調整できるターゲットマニピュレーター
● 3つの熱源
● リアルタイム膜厚計（精度1 nm）
● 直感的なタッチスクリーン
● ネットワーク経由で更新できるユーザーフレンドリーなソフトウェア
● 回転式サンプルホルダー
● 電子シャッター
● 500℃の基板ヒーター
主な仕様
| 型式 | PLD-T |
| 本体サイズ（H × W × D） | 500 × 600 × 470（mm） |
| 重量 | 70 kg |
| 電源 | 220 – 240 V、50 / 60 Hz、16 A |
| 最大消費電力 | 3,840 W |
| 高精度膜厚モニター | 〇 |
| 蒸着源数 | 最大 3 |
| 到達真空度 | 高真空ターボポンプ使用 ポンプ速度：90L/s、350 L/ s、 到達真空度：7 × 10⁻⁶ Torr 7 × 10⁻⁷ Torr |
| PC転送 | 堆積プロセスデータをUSBポートでPCに転送 |
メーカー製品URL:
https://to.meiwanet.co.jp/l/990542/2024-08-09/46gb44
情報提供元: メイワフォーシス株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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