マルチスペクトル・エリプソメータ
FS-4 / FS-8
メイワフォーシス
最大8波長に！最新のLED光源で様々なサンプルに対応
- マルチLED光源と特許技術の新MWE技術
- オングストローム・ナノ薄膜の薄膜計測
- in situでリアルタイム計測を実現
- 簡単測定&Model Builder自動解析搭載
特長
● マルチLED光源（370～950nmの波長範囲から4もしくは8つの光源）
● 分光エリプソ以上の高い再現性精度を実現。最短10ミリ秒の高速測定が可能。分光エリプソに必要な定期的な校正は不要。
● 厚さ0～2µmの単層透明膜を0.0004nmの精度で測定可能
● 複雑なソフトウェアのセットアップやメンテナンスが不要
主な仕様
| 品名 | FS-4（G4） | FS-8（G4） |
| スペクトル範囲 | 450～660nm | 370～950nm |
| 波長域 | 4 | 8 |
| 特長 | 厚さ0～2µｍの単層透明膜を0.0004nmの精度で測定可能 | UV波長（370nm）は10nm以下の非常に薄い膜やポリマー膜の測定感度を向上させます |
| 再現性精度が2倍向上（従来装置との比較） | 3つの長波長（735, 850, 950nm）は、厚い透明膜（最大5µｍまで）や半導体吸収膜（ポリ-Si、SiGe、アモルファス-Si等）の測定を可能に | |
| 簡単にin situ 測定可能 | ||
| コンパクトな光源と検出器 |
メーカー製品URL:
https://to.meiwanet.co.jp/l/990542/2024-08-08/46g9wb
情報提供元: メイワフォーシス株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。