熱蒸着機
DTT

メイワフォーシス

薄膜を真空蒸着するためのターボ分子ポンプ式熱蒸着機

特長

● 多層サーマルコーティング
● 多層薄膜堆積のための蒸着源の選択（ボー / バスケット / コイル）
● リアルタイム膜厚モニタリングシステム（1 nm 精度）
● 時間と厚さを手動 / 自動設定にて成膜

型式	DTT
本体サイズ（H × W × D）	600 × 650 × 500（mm）
重量	～ 60 kg
電源	220 – 240 V、50 / 60 Hz、16 A、0〜100 A DC電源
最大消費電力	3,840 W
高精度膜厚モニター	〇
蒸着源数	最大 3
到達真空度	高真空ターボポンプ使用ポンプ速度：90L/sec、350 L/sec、到達真空度：7 × 10⁻⁶ Torr、7 × 10⁻⁷ Torr
PC転送	堆積プロセスデータをUSBポートでPCに転送

情報提供元: メイワフォーシス株式会社

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