高真空スパッタコーター
DST 1-170
メイワフォーシス
2インチマグネトロンカソード、
80WスイッチングDC電源を備えた高真空スパッタコーター
特長
● 高真空ターボポンプ 90L/s（Leybold）
● 精度1nm、分解能1Å の水晶厚モニター
● コーティング速度を制御して、より微細な粒子構造を実現
● 時間と厚さを手動 / 自動設定にて成膜
● 過去 300 回のコーティング履歴の保存
● 電子シャッターを装備
● 交換が容易な試料ステージ（回転ステージを標準装備）
主な仕様
| 型式 | DST 1-170 |
| 本体サイズ（H × W × D） | 450 × 500 × 370（mm） ※ ターボポンプ除く |
| 重量 | 36 kg |
| 電源 | 220 -240 V、50 / 60 Hz、16 A |
| 最大消費電力 | 2,200 W |
| 高精度膜厚モニター | 〇 |
| 蒸着源数 | 1 |
| 到達真空度 | 高真空ターボポンプ使用 ポンプ速度：90L/s 到達真空度：7 × 10 ⁻⁷ Torr 未満 |
| PC転送 | USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能 |
メーカー製品URL:
https://to.meiwanet.co.jp/l/990542/2024-08-08/46g9w7
情報提供元: メイワフォーシス株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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