高性能スパッタコーター
DSR 1
メイワフォーシス
分かりやすいタッチパネル式ディスプレイ膜厚計・サンプル回転ステージ標準搭載
特長
● 2段、ダイレクトドライブ4m³/h、ロータリーポンプ
● より細かい粒子構造を実現するためにコーティング速度を制御
● 時間と厚さを手動 / 自動設定にて成膜可能
● 過去300回のコーティング履歴の保存
● 交換が容易な試料ステージ（平面回転または回転ステージを標準装備）
● 電子シャッターを装備
● CE適合性
主な仕様
| 型式 | DSR 1 |
| 本体サイズ（H × W × D） | 450 × 500 × 370（mm） |
| 重量 | 42 kg（真空ポンプ付属） |
| 電源 | 220 – 240 V、50 / 60 Hz、10 A、80 W DCスイッチング電源 |
| 高精度膜厚モニター | 〇 |
| 蒸着源数 | 1 |
| 到達真空度 | 40 mTorr 未満 |
| PC転送 | USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能 |
メーカー製品URL:
https://to.meiwanet.co.jp/l/990542/2024-08-08/46g9w4
情報提供元: メイワフォーシス株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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