接触式段差計
NT1520

小坂研究所

膜厚、段差測定等、レシピ自動測定に最適！

特長

● ワイドレンジ検出器：1300µm
● X、Y方向両軸測定：ワーク置直し不要。タクト軽減の貢献。
● 直動方式検出器：世界唯一の構造で高精度・高再現性を実現。

情報提供元: 株式会社小坂研究所

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