微細形状測定機
ET4000A
小坂研究所
精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わせて選択できます。
特長
● ET4000A:多機能な全自動微細形状測定機
● ET4000L:大きいサイズにも対応できる全自動微細形状測定機
● ET4000M:リーズナブルで高性能な汎用微細形状測定機
主な仕様
最大サンプルサイズ | 210×210mm、300×400mm |
測定範囲 X軸 | 100mm |
測定範囲 Z軸 | 100µm |
X軸 最小分解能 | 0.01µm |
Z軸 最小分解能 | 0.1nm |
測定力 | 0.5µN~500µN |
メーカー製品URL:
https://www.kosakalab.co.jp/product/precision/minute/#et4000a
情報提供元: 株式会社小坂研究所
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。