特長

● 無酸化雰囲気にて、最高600℃までの熱処理が可能
● 残留素濃度20ppm以下を達成
● 高い気密性
● 槽内雰囲気に影響を与えることなく、降温時間を短縮
● セラミックスの脱脂（脱バイ※）用途で多数の採用実績
※ 脱脂（脱バイ）処理については別途、安全装置が必要ですので、別途、お問合せください。

主な仕様

型式	INH-9N1	INH-21CD	INH-51N2	INH-100N2
方式	強制送風循環式（サイドフロー）
最高温度 ※1	600℃
常用温度 ※1	RT+60～600℃
温度分布精度 ※2	±8℃（at 600℃）、±5℃（at 350℃）
最高温度到達時間 （RT+60～600℃）	120分以内	90分以内	90分以内	90分以内
残留酸素濃度	20ppm以下
20ppm到達時間	50分以内 （N₂を50L/min導入）	60分以内 （N₂を90L/min導入）	90分以内 （N₂を150L/min導入）	90分以内 （N₂を250L/min導入）
外形寸法（mm）	1105(W)×1650(H) ×840(D)	1255(W)×1800(H) ×1120(D)	1606(W)×2008(H) ×1300(D)	1806(W)×2208(H) ×1500(D)
槽内寸法（mm）	450(W)×450(H) ×450(D)	600(W)×600(H) ×600(D)	800(W)×800(H) ×800(D)	1000(W)×1000(H) ×1000(D)
ブレーカー容量	AC200V 30A 3相 50/60Hz	AC200V 50A 3相 50/60Hz	AC200V 100A 3相 50/60Hz	AC200V 175A 3相 50/60Hz

※1　加熱室内制御点での値を示す。
※2　有効寸法は槽内寸法の2/3です。