クリーンオーブン
CLOシリーズ
ジェイテクトサーモシステム
耐熱性HEPAフィルタにより、クリーン環境での熱処理が可能なオーブンシリーズです。
特長
● 内槽を全周シール加工した高気密性により清浄度と雰囲気を保持
● 温度安定時の槽内はクラス100（ISO：クラス5）
● オプション装着で層内にN₂導入可能
● 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージング等に最適
主な仕様
| 型式 | CLO-2AH | CLO-9CH | CLO-21C（H） |
| 方式 | 前面吹き出し型強制循環式 | ||
| 最高温度 ※1 | 200℃ / 350℃（Hタイプ） | ||
| 常用温度 ※1 | RT +60～200℃ / RT +60～350℃（Hタイプ） | ||
| 温度分布精度 ※2 | ±4℃（at 200℃） / ±8℃（at 350℃）（Hタイプ） | ||
| 最高温度到達時間 | 60分以内（RT +60～200℃） / 120分以内（RT +60～350℃）（Hタイプ） | ||
| 清浄度 | CLASS 100（ISO クラス5）（温度安定時） | ||
| 外形寸法（mm） | W590×H460×D615 | W1040×H690×D900 | W860×H1470×D1010 |
| 槽内寸法（mm） | W250×H250×D250 | W450×H450×D450 | W660×H660×D500 |
| ブレーカ容量 | AC 100V 20A 単相 50/60Hz ノーヒューズブレーカ |
AC 200V 20A 3相 50/60Hz 漏電ブレーカ |
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※1 加熱室内制御点での値を示す。
※2 有効寸法は槽内寸法の2/3です。
・ Hタイプはシールパッキン保護用に冷却水が必要です。
メーカー製品URL:
https://thermos.jtekt.co.jp/products/clo.html
情報提供元: 株式会社ジェイテクトサーモシステム
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。