高温クリーンオーブン
CLHシリーズ
ジェイテクトサーモシステム
耐熱高性能フィルタと冷却器の組み合わせにより、
クリーン環境と高温処理を両立したオーブンシリーズです。
特長
● 耐熱高性能フィルタと当社独自の冷却器により高温ベークが可能
● 温度安定時の槽内はクラス100（ISO：クラス5）
● 熱風フローは、前面吹き出しと、サイドフローの2タイプ
● 高い熱効率と良好な温度均一性を実現
● 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージング等に最適
● 不活性ガスを槽内に導入し、イナートガスオーブンとして使用可能
主な仕様
| 型式 | CLH-21CD（Ⅲ） | CLH-21CDH（Ⅲ） | CLH-21CD（V） | CLH-35CD（Ⅲ） | CLH-35CDH（Ⅲ） |
| 方式 | 強制送風循環式（サイドフロー） | 前面吹出し型強制循環式 | 強制送風循環式（サイドフロー） | ||
| 最高温度 ※1 | 450℃ | 530℃ | 500℃ | 450℃ | 530℃ |
| 常用温度 ※1 | RT＋70～450℃ | RT＋70～530℃ | RT＋70～500℃ | RT＋70～450℃ | RT＋70～530℃ |
| 温度分布精度 ※2 | ±5℃（at 450℃） | ±8℃（at 530℃） | ±5℃（at 500℃） | ±5℃（at 450℃） | ±8℃（at 530℃） |
| 最高温度到達時間 | 80分以内（RT+70～450℃） | 90分以内（RT+70～530℃） | 80分以内（RT+70～500℃） | 70分以内（RT+70～450℃） | 100分以内（RT+70～530℃） |
| 外形寸法（mm） | 1285(W)×2020(H)×1605(D) | 1180(W)×2110(H)×1670(D) | 1285(W)×2090(H)×1775(D) | ||
| 槽内寸法（mm） | 670(W)×700(H)×500(D) | 700(W)×700(H)×500(D) ※3 | 670(W)×790(H)×670(D) | ||
| ブレーカー容量 | AC 200V 150A 3相 50/60Hz | AC 200V 100A 3相 50/60Hz | AC 200V 175A 3相 50/60Hz | ||
※1 ヒータの昇温可能温度・加熱室内制御点での値を示す。
※2 有効寸法は槽内寸法の2/3です。
※3 槽内幅は700mmですが、開口部は630mmとなります。
メーカー製品URL:
https://thermos.jtekt.co.jp/products/clh.html
情報提供元: 株式会社ジェイテクトサーモシステム
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。