オートファインコーター
JEC-3000FC

日本電子

走査電子顕微鏡の試料作製装置として、生物などの非導電性試料への各種金属コーティングを短時間に効率的に行えるイオンスパッター装置です。

特長

● アルゴンガスパージ機能を利用することで、効率の良いスパッタリングができます。陰極に永久磁石を内蔵させ、効率の良いグロー放電によるスパッタリングを行うことができます。

スパッタリング方式		マグネトロン形
使用圧力		20Pa以下
スパッタリング電流		10、20、30、40 mA
ターゲット		白金（Pt）標準　Au、Au-Pd、Pt-Pdオプション
試料台		直径64 mm
真空チャンバー		外径120 mm×高さ100 mm、ガラス製
真空モニター		ピラニ真空計（タイマー表示と兼用）
タイマー		デジタル表示（1～300秒）
ガスコントロール		組込み
アルゴンガスパージ機能		組込み
高圧安全回路		組込み
排気系		直結形ロータリーポンプ100L/min（過温度保護機能組込み）
所要電源		単相100V、50/60Hz、800VA
寸法・質量	本体	300(W)×380(D)×290(H)mm、11kg
	ロータリーポンプ	225(W)×525(D)×320(H)mm、23kg
設置室条件		25±5℃

情報提供元: 日本電子株式会社

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