Smart Coater
DII-29010SCTR
日本電子
走査電子顕微鏡の試料作成用のアタッチメントです。
特長
● 走査電子顕微鏡で扱う試料にメタル（Au、Pt）コーティングを施して、試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させることにより、観察画像の画質を改善することができます。
主な仕様
| スパッタ方式 | 2極水平電極放電方式 マグネトロンスパッタリング方式 |
| 使用真空度 | ～4Pa |
| 試料室サイズ | 86mmΦ（内径）×100mm（D） |
| 試料室カバー | 硬質ガラス製 |
| ターゲットサイズ | 49.5mmΦ×0.1mm（厚）（Au, 1枚付属） ターゲット電極 20mmΦ |
| 試料台サイズ | 70mmΦ |
| 試料台高さ | ターゲットに対して、距離を10～50mmまで連続可変可能 |
| コーティング時間 | 0.5min. / 1min. / 2min.（選択） |
| 真空ポンプ排気速度 | 30L/min. |
● 設置条件
| 電源 | 単相 AC100V、50/60Hz、500VA （ロータリーポンプを含む） |
| 接地 | D種 |
| 室温 | 15～30°C |
| 湿度 | 70%以下 |
| 寸法・重量 | 試料コータ本体 203mm(W)×270mm(D)×325mm(H)・6.0kg ロータリーポンプ 120mm(W)×289mm(D)×163mm(H)・9.3kg |
メーカー製品URL:
https://www.jeol.co.jp/products/scientific/sem_peripherals/DII-29010SCTR.html
情報提供元: 日本電子株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
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