二重回転補償子型高速分光エリプソメーター
RC2

ジェー・エー・ウーラム・ジャパン

ミューラー行列全16要素を測定し、様々なオプションや波長範囲（最大193から2500nm）の組み合わせが可能な二重回転補償子型分光エリプソメーター

特長

● RC2はこれまでの装置の特徴と革新的な新技術（二重回転補償子、色収差の少ない補償子、先進的な光源と次世代スペクトロメーターなど）が結びついて開発されており、すべてにおいて優れた分光エリプソメーターと言えます。

● RC2はミューラー行列の全16成分を取得できる世界初の分光エリプソメーターです。極めて高度なサンプル、あるいはナノ構造のサンプルなどの特徴を解き明かすためには、ミューラー行列全成分を測定可能なエリプソメーターが適しています。

● 光学設計の大幅な改良により、通常の分光エリプソメトリー（SE）、一般化分光エリプソメトリー（g-SE）、ミューラー行列分光エリプソメトリー（MM-SE）、それぞれの測定において最高精度のデータを取得できるようになりました。

● RC2はサンプルの前後に1つずつ計2つの同期回転する補償子を備えています。これにより高精度かつ高速でのミューラー行列全成分の測定が可能となりました。

	水平自動入射角ベース	垂直自動入射角ベース	集光専用ベース	固定入射角ベース
装置概要	二重回転補償子型エリプソメーター（特許取得済） CCDによる全波長での同時測定フレキシブルなシステム構成
ディテクター	CCD
入射角範囲	45～90°	20～90°	～65°	65°
波長範囲	193nm～2500nmの範囲での組み合わせで選択
データ取得時間	0.3 秒（通常2-10 秒）

情報提供元: ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社

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