回転補償子型高速分光エリプソメーター
M-2000

ジェー・エー・ウーラム・ジャパン

様々なオプションや波長範囲（最大193から1690nm）の組み合わせが可能な回転補償子型分光エリプソメーター

特長

● 分光エリプソメーターM-2000シリーズは、薄膜評価における多様な要求を満たすために設計されています。先進的な光学設計、広い測定波長範囲、そして高速データ取得といった特徴を持ち、極めて汎用性の高い装置です。M-2000はスピードと正確さを兼ね備えています。

● 特許取得済のRCE（回転補償子型エリプソメーター）技術によって、高い精度と再現性を実現しています。

● RCE設計と、全波長を同時に測定する高精度で実績のあるCCD検出器とを併用しています。

● 紫外から近赤外までの700を超える波長のデータをすべて同時に取得します。

	水平自動入射角ベース	垂直自動入射角ベース	固定入射角ベース
装置概要	回転補償子型エリプソメーター（特許取得済） CCDによる全波長での同時測定フレキシブルなシステム構成
ディテクター	CCD
入射角範囲	45～90°	20～90°	65°
波長範囲	193nm～1690nmの範囲での組み合わせで選択
データ取得時間	0.05秒（通常2-10 秒）

情報提供元: ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社

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