特長

● 印加電圧制限機能で極小電子部品（0201サイズ）もやさしく測定
測定時の印加電圧を5V以下に制限することにより、定格電圧の小さい0201サイズの部品もストレスを掛けずに測定可能となりました。

● 速やかに確実なコンタクト、接触改善機能
測定試料へのコンタクト時にプローブと試料間の酸化皮膜や汚れを突き破り、接触改善します。接触不良の改善で安定した測定、そしてコンタクトエラー率が低減され、生産性の向上につながります。

● ローパワー測定向けに接触改善機能が進化
接触改善を実施時、測定試料へ流れ込む突入電流を抑えることで、小型のフェライトビーズや0201サイズの極小抵抗器の検査など、接触改善の使用シーンが広がりました。

● スケーリング機能で実装状態に補正して測定可能
スケーリング機能により、基板実装時と単品で検査時の抵抗値の差異（プロービング位置の影響など）を補正することができます。シャントなど低抵抗の電流検出抵抗の検査に威力を発揮します。

主な仕様

抵抗測定レンジ	[Low Power OFF時] 100mΩ（最大表示120.0000mΩ, 分解能0.1µΩ） 〜100MΩレンジ（最大表示120.0000MΩ, 分解能100Ω）, 16切替え [Low Power ON時] 1000mΩ（最大表示1200.000mΩ, 分解能1µΩ） 〜1000Ωレンジ（最大表示1200.000Ω, 分解能1mΩ）, 6切替え
測定確度	[100mΩレンジ, SLOW時] ±0.015 % rdg. ±0.002 % f.s. [1000Ωレンジ, SLOW時] ±0.006 % rdg. ±0.001 % f.s.（最高確度）
測定電流	[100mΩレンジ時] DC 100mA〜[100MΩレンジ時] DC 100nA
開放端子電圧	DC 20 V max. 印加電圧制限機能ON時：DC 10 V max.
測定時間 Low Power OFF時	[100Ω, 300Ω, 1000Ωレンジ時] FAST 0.9 ms, MED 3.6 ms, SLOW 17 ms（最短測定時間）