蛍光X線式測定器
XDV®-µ
フィッシャー・インストルメンツ
ポリキャピラリ―レンズ(Polycapillary Optics)を搭載した蛍光X線膜厚測定器です。
微小部にX線を集光させるためX線強度が強く、精度よく測定が可能です。新開発のデジタルパルスプロセッサー「DPP+」を搭載!
特長
● 微小部にX線を集光しX線強度が強く、精度良く測定可能
● 薄膜の厚さ測定 (例)0.1µm以下のAuやPd
● プログラミング可能なXYステージによる自動測定
● 自社開発により進化を遂げたデジタルパルスプロセッサー「DPP+」を搭載し、優れたエネルギー分解能と短時間測定に貢献します。
主な仕様
XDV-µ | |
測定元素範囲 | Al(13)~ U(92) |
X線検出器 | シリコンドリフト検出器(SDD) |
X線管球 | マイクロフォーカスチューブ |
プライマリフィルター | 4種類 |
X線光学系 / サイズ | ポリキャピラリーレンズ Φ20µm |
メーカー製品URL:
https://www.helmutfischer.jp/product/xdv-u/
情報提供元: 株式会社フィッシャー・インストルメンツ
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。