特長

● 最大300mmサイズのウエハーや液晶パネル、電子基板などのサンプルが検査できる大型の顕微鏡です
さまざまなアプリケーションに対応するモジュールを組み合わせることでお客様に有益なシステムを提供することができます。さらにPRECiV画像解析ソフトウェアと組み合わせることで観察からレポート作成までのシームレスなワークフローを提供します。

● 多彩な機能
従来の観察方法では見つけにくかった欠陥も、卓越した光学・イメージング技術で検出できます。MX63 / MX63Lは、これまで工業用顕微鏡で用いられていた観察法を備えています。さらに、新開発の照明手法やPRECiVを使用することで、従来は不可能とされていた検査・評価を可能にします。

● ユーザーフレンドリー
MX63 / MX63Lなら、豊富なサポート機能やガイダンス機能を使えば初心者でも適切な観察条件で効率的な検査が行え、作業者ごとのバラつきも抑えることができます。顕微鏡を適切に操作するために必要だった専門的なトレーニングも不要です。

● 先進の画像技術
エビデントは、長年積み重ねた光学技術と先進のソフトウェアによる画像技術を融合し、鮮明な画質と卓越した測定精度を提供します。

● モジュラリティー
モジュール式システム設計により、サンプルやアプリケーションに応じたカスタマイズが可能です。

主な仕様

型式		MX63	MX63L
光学系		UIS2光学系システム（無限遠補正）
観察法	落射照明系	明視野 暗視野 微分干渉（DIC）※1 簡易偏光 ※1 蛍光 ※1 IR観察 MIX（4分割照明）※2
	透過照明系	明視野、簡易偏光
最大積載質量 （ステージ、ホルダ類含む）		8kg	15kg
質量		約35.6kg（鏡体 ： 約26kg）	約44kg（鏡体 ： 約28.5kg）

※1　ミラーユニットはオプション
※2　MIX観察ユニット組み合わせ時