特長

● フォーカスバリエーション（焦点移動法）に基づいた高精度測定
µCMMは焦点移動法の原理に基づいています。焦点移動法では光学系のZ軸を走査しながらイメージセンサーで連続して画像を取り込み、各ピクセル毎の焦点が合った像を合成して三次元画像を作成します。測定の不確かさ情報を含む高測定点密度によるロバストな技術です。焦点移動法は研究・生産ともに適用されています。

● アリコナG5 plus に不可能だった測定を実現

• • アリコナG5 plus では、白色LEDを用いていたため測定することが不可能であった透明体や高反射率でハレーションを起こす鏡面の測定対象を取り込むことが可能になりました。
  • 最小3nmの垂直分解能で信頼性の高い測定結果を提供します。
  • 様々な業界で一般的に使用されるすべての材料と複合材が測定可能です。
  • ISO10360-8（JISB7440）準拠のため、サイズ公差・幾何公差の解析にも対応可能です。

● 幅広い業界での様々な微細形状の測定、計測、解析が可能
超鏡面・透明体なども測定できるため、アリコナG5 plus が得意としていた工具、自動車業界・航空業界のみならず、半導体業界、金型業界、ガラス・レンズ業界等、幅広くご活用いただけます。自動測定などのソリューションも充実しているため、長期的かつ安定的な測定環境を保証します。

主な仕様

測定原理	焦点移動法にもとづく非接触三次元測定
測定テーブルストローク（XY）	310mm × 310mm
垂直方向ストローク（Z）	310mm

 

対物レンズの倍率	>5倍	10倍	20倍	50倍
ワーキングディスタンス（mm）	23.5	17.5	19.0	11.0
視野範囲　Ｘ方向（mm）	2.63	1.32	0.66	0.26
視野範囲　Ｙ方向（mm）	2.63	1.32	0.66	0.26