特長

● フォーカスバリエーション（焦点移動法）に基づいた高精度測定
インフィニートフォーカスは焦点移動法の原理に基づいています。焦点移動法では光学系のZ軸を走査しながらイメージセンサーで連続して画像を取り込み、各ピクセル毎に焦点が合った像を合成して3D画像を作成します。測定の不確かさ情報を含む高測定点密度によるロバストな技術です。焦点移動法は研究・生産ともに適用されています。

● インフィニートフォーカスG5の主要機能を集約したエントリータイプ
インフィニートフォーカスG5の主要機能を継承した、コストパフォーマンスの高いコンパクトな設計が特徴です。設置スペースもコンパクトで設置場所を選びません。24セグメント独立制御式リングライトを標準装備していますので、測定表面の材質や表面粗さ形状に最適なライティング設定が可能です。またコンセントレーター一体型の対物レンズは最適な測定条件設定に貢献しています。

● 様々な微細形状の品質保証から研究開発用途まで幅広く対応
工具業界では工具刃先測定から微細精密加工品の品質保証と表面性状測定まで汎用的に使用されています。インフィニートフォーカスSLは、自動車、航空宇宙、金型、及び医療機器産業に使用されています。ユーザーは急傾斜面やギヤ歯元の粗さなど接触式ではアクセスが困難な場所の測定が可能です。

主な仕様

測定原理	焦点移動法にもとづく非接触三次元測定
測定結果	表面性状を最大3.5Mバイトの3D情報をもとに高精度かつリアルカラーで表示
Z軸手動移動量	130mm
Z軸取込範囲	26mm
電動ステージ	50mm × 50mm

 

対物レンズの倍率	10倍	20倍	50倍
最小水平分解能（µm）	2	1	0.64
最小垂直分解能（nm）	100	50	20
ワーキングディスタンス（mm）	17.5	13	10.1
視野範囲　Ｘ方向（µm）	2000	1000	400
視野範囲　Ｙ方向（µm）	2000	1000	400

※ 上記以外にSXタイプ対物レンズ、AXタイプ対物レンズが用意されています。