特長

● フォーカスバリエーション（焦点移動法）に基づいた高精度測定
アリコナG6は焦点移動法の原理に基づいています。焦点移動法では光学系のZ軸を走査しながらイメージセンサーで連続して画像を取り込み、各ピクセル毎の焦点が合った像により3次元画像を作成します。測定の不確かさ情報を含む高測定点密度によるロバストな技術です。焦点移動法は研究、生産、ともに適用されています。またスマートフラッシュ2.0テクノロジーを搭載したことにより、超光沢面を測定することが可能になりました。

● 独自の測定技術で、研究開発、加工・製造・品質保証をバックアップ

• • 最大87度の傾斜角が測定できます。
  • バーティカル・フォーカス・プロービングを使用して、87度～100度の立壁や孔の内径が測定できます。
  • 高いワーキングディスタンスで測定の汎用性・自由度を高めます。
  • 最小10nmの垂直分解能で信頼性の高い測定結果を提供します。
  • STLでの3Dフォーマットの入出力ができ、リバースエンジニアリングにも対応。

● 幅広い業界でのマイクロ・精密部品や微細構造表面解析
アリコナG6を使用した、精密加工分野の品質保証は世界標準です。品質保証と生産ライン内測定には、切削エッジ測定やドリル・エンドミル・インサートなどの全形形状・粗さ測定も含まれています。他にも微細加工、自動車産業、医療機器開発及び製薬工業、射出成型、航空宇宙産業、電気電子部品、印刷、犯罪科学において、アリコナG6を材料・プロセス最適化で活用することで最大の収益を上げています。

主な仕様

測定原理	焦点移動法にもとづく非接触三次元測定
測定結果	表面性状を最大3.5Mバイトの3D情報をもとに高精度かつリアルカラーで表示
測定テーブルストローク（XY）	200mm × 200mm
垂直方向ストローク（Z）	180mm

 

対物レンズの倍率	2.5倍	4倍	10倍	20倍	50倍	100倍
最小垂直分解能（nm）	2300	250	50	30	15	10
ワーキングディスタンス（mm）	8.8	30	17.5	19.0	11	4.5
視野範囲　Ｘ方向（µm）	5600	3800	1600	>800	300	160
視野範囲　Ｙ方向（µm）	5600	3800	1600	800	300	160

※ 上記以外にHXタイプ対物レンズが用意されています。