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TDDB(酸化膜経時破潰)評価システム
AMM-2000

エスペック

酸化膜の信頼性評価に

特長

● 測定数にあわせたシステム構成
TDDB評価システムは、電圧電流の出力やモニタが可能なSMモジュールをチャンネル毎に装備しています。
SMモジュールは4SMUで1ボードの構成となっており、最大9ボードが収納できるユニットが基本構成(36SMU)になっています。ウェーハレベルで最大9セット(324SMU)まで増設が行えます。

● 高精度な電流・電圧印加測定を実現
電流は9レンジ、最大電流±100mA・最小電流±1pAの測定分解能。電圧では2レンジ、最大電圧±50V・最小電圧1mVの分解能を備えることで、広範囲にしかも高精度で印加 / 測定が行えます。

● 解析用アプリケーションソフトウェア(e-graph)を用意
試験の進行状況や測定値の変化を自動更新でリアルタイムに確認できます。測定後には測定結果からワイブルプロットの作成や寿命測定が行えます。Excelなどの表計算ソフトウェアなどのデータ変換も行えます。

● 幅広い評価項目にも対応
ウェーハレベルや液晶用ガラス基板レベルのTDDB評価が行え、1端子(Gate-GNDcommon)と2端子(Gate-GND)、4端子(Drain・Gate・Base・Source)の設定で、QDB・TZDB評価などの測定項目にも対応します。また、オプションのソフトウェアを使用することで、FET単体トランジスタ特性評価が可能です。

主な仕様

電圧 / 電流印加範囲 -50V ~+50V  / -100mA ~+100mA
分解能 1mVステップ/ 1pAステップ
電圧 / 電流測定範囲 -50V ~+50V / -100mA ~+100mA
SMU数 36SMU単位(最大324SMU)

メーカー製品URL:
https://www.espec.co.jp/products/measure-semicon/tddb/

情報提供元: エスペック株式会社

・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
 また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。