特長

● 1キャビネット3オーブンで、240chの評価試験が可能
1オーブンにDUTボードが8枚、DUTボード1枚に、5個のICソケットを搭載しています。1ソケットあたりDUTを2個搭載でき、2サンプルの試験が可能です。1オーブンでは、最大80DUTの評価試験が行えます。最大1200DUT（1200ch）の評価を1台のホストPCで管理します。

● 高温350℃の高精度オーブン
試験温度は350℃を実現し、300℃において分布は±3.5℃の高精度を発揮。オーブンごとに異なる温度条件で評価を行えます。

● 200mAまでの電流ストレス印加
0.1mA～200mAのストレス電流印加が行えます。

● 二重コンタクト構造の高信頼性ボード（特許第4304189号）
DUTボードとソケットの接続部は、二重コンタクト構造により確実な固定を実現。さらにDUT抜けを防止するエスペック独自の工夫をしています。これらの構造により、高温下での長時間の評価にも対応でき高い信頼性を確保しています。
※ ソケットは350℃タイプ（300mil、600mil共用）が標準装備。250℃タイプ（600mil専用）もご用意しております。（オプション）

主な仕様

ストレス電流源	出力範囲	＋DC0.1mA～200mA
	追従電圧	35V
Extrusion用試験電圧	出力範囲	-10.0V～-1.0V及び1.0V～20.0V
	精度	±（設定値の2％＋20mV）
オーブン	温度制御範囲	＋65～＋350℃
	温度変動幅	±1.0℃（＋100℃）、±2.0℃（＋200℃）、±3.5℃（＋300℃）
	温度分布	±3.5℃（at300℃）

 

型式		AEM-240C3S AAA	AEM-160C2S 0AA	AEM-080C1S 00A
EMモジュール出力電流	オーブン1	200mA	200mA	200mA
	オーブン2	200mA	200mA	ー
	オーブン3	200mA	ー	ー
評価チャンネル数		240ch	160ch	80ch
DUTボード	設置枚数	24（8×3オーブン）	16（8×2オーブン）	8
	ICソケット	1ボードにつき各5（DIP 28-pin 600 mil and 300 mil共有）