簡易型赤外線ランプ加熱装置
SSAシリーズ
アドバンス理工
赤外線ゴールドイメージ炉と石英チャンバの簡易型装置
特長
● 赤外線ゴールドイメージ炉及び試料ホルダを含んだ石英チャンバから構成される低価格の加熱システムです。
● 用途
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- 化合物半導体のアロイング
- Si、化合物半導体のRTA
- セラミック基板上の積層材の焼成炉
- ガラス・セラミック基板のアニール炉
主な仕様
| 型式 | SSA-E45 | SSA-E410 | SSA-P610C |
| 加熱方式 | 赤外線楕円面反射集光式 | 赤外線楕円面反射集光式 | 赤外線放物面反射集光式 |
| 温度範囲 | RT ～ 1400℃ | RT ～ 1200℃ | |
| 熱処理ゾーン | Φ15mm×長50mm | Φ15mm×長100mm | Φ50mm×長100mm |
| 均熱ゾーン（加熱時） | Φ10mm×長40mm | Φ10mm×長80mm | Φ40mm×長80mm |
| 熱処理チャンバ | 石英製 Φ30（ガスフロー型） | 石英製 Φ98（ガスフロー型） | |
| 石英試料ホルダ | 石英製（ポートタイプ） | 石英製（2インチ板状タイプ） | |
| 熱電対 | JIS “R” 1対 | ||
| プログラム温度制御器 | TPC5000-32-1 | TPC5000-62-1 | |
※ 温度範囲は試料の熱容量・赤外線の反射・吸収によって異なります。
メーカー製品URL:
https://advance-riko.com/products/ssa/
情報提供元: アドバンス理工株式会社
・本ページに記載されている内容は抜粋情報となっております。詳細はメーカーHP、製品カタログ等をご参照ください。
また、製品・仕様は予告なく変更、製造中止となることがあります。
・当社営業エリア内の対応とさせていただきます。またエリア内であっても対応できない場合がございます。