特長

● 40064（4チャンネル・SMU）
4000 2 スロット・モジュラ計測器に搭載する-0.2 V～+6 V/±1 A出力、4チャンネルのSMU（ソース・モニタ・ユニット）です。

オーバーシュートのない低切り替えノイズ、高速リミット（コンプライアンス）特性を持った低ノイズSMUです。電圧発生は6 Vフルスケールで100µV、電圧測定分解能は10µVです。あらたに開発した回路方式により、0.1mΩ～400 Ωのプログラマブル出力抵抗、25 nS～100 mSの出力コンダクタンスを実現。電圧発生の出力ノイズはDC～20 MHz で8 mVpp 以下と低ノイズですが、さらに別売のCC0460064 出力ノイズ・フィルタを使用すると2 mVpp 以下まで低減することができます。測定回路は積分時間200 µsから12 PLC（パワーラインサイクル）の5½桁のAD変換器を使用しています。各SMU は独立したDC測定のほかリニア、フィクスド、ランダム・スイープ測定が可能でチャンネル間、ユニット間で同期測定が可能です。4000 には2 ユニットが搭載可能ですので、2 ユニットで8チャンネルの出力が可能です。

ユニット間のアイソレーションは1000 V、ユニット内のチャンネル間は50 V です。そのため、1 チャンネル 5 V/±1 A では200 チャンネル、50 ユニット、25 台の直列接続で+1000V の発生が可能です。また、各チャンネル個別に出力抵抗、または出力コンダクタンスが設定可能ですので、直列に接続したバッテリ・スタックのシミュレーションが出来ます。

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● 40064の等価回路と出力範囲
40064 は各チャンネルが独立した、プログラマブル出力抵抗の電圧発生器、またはプログラマブル出力コンダクタンスの電流発生器として使用でき、共に電圧、電流測定を備えています。出力範囲は-0.2 V ～ +6 V,±1 A で図のような範囲のソース / シンクが可能です。

主な仕様

			40064
チャンネル数			4
フローティング電圧			ch間：50V、ch-GND間：1000V
発生	桁数、最大表示		4 1/2桁、60000
	電圧	発生範囲	-0.2V～+6.0V
		最小分解能	100µV
	電流	発生範囲	±1.0A
		最小分解能	100nA
測定	桁数、最大表示		5 1/2桁、60000
	電圧	測定範囲	-0.2V～+6.0V
		最小分解能	10µV
	電流	測定範囲	±1.0A
		最小分解能	10nA